The relentless drive to reduce the size of electronic components, coupled with the continuous progress in fabrication technology, has given us the capability of creating complex structures on the micron and submicron scale. In consequence MEMS and NEMS are becoming common research tools in the areas of mass and force sensing [1]}, [2]}, atomic force microscopy [3]}, nanofluidics [4]} and quantum behaviour of macroscopic mechanical oscillators [5]}, [6]}.

Неудержимое стремление к уменьшению размеров электронных компонентов, совместно с непрерывным прогрессом в технологии изготовления, дало нам возможность создавать сложные структуры на микро- и субмикромасштабах. В результате, MEMS и NEMS становятся общепринятыми инструментами исследований в области массового и силового сенсорики [1]}, [2]}, атомно-силовой микроскопии [3]}, нанофлюидики [4]} и квантового поведения макроскопических механических осцилляторов [5]}, [6]}.